基本信息
| 标准名称： | 电子工业用气体 氯化氢 |
| 英文名称： | Gases for electronic industry. Hydrogen chloride |
| 中标分类： | 化工 >> 其他化工产品 >> 工业气体与化学气体 |
| ICS分类： | 化工技术 >> 化工产品 >> 工业气体 |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1993-08-26 |
| 实施日期： | 1994-07-01 |
| 首发日期： | 1993-08-26 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 化工部西南化工研究院 |
| 出版日期： | 1900-01-01 |
| 页数： | 7页 |
适用范围
本标准规定了氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以氢、氯为原料合成的氯化氢和以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液态氯化氢。氯化氢主要用于电子工业，在集成电路生产中用于蚀刻、钝化、外延等工艺。也可用于金属冶炼、光导通讯和科学研究等领域。
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所属分类： 化工 其他化工产品 工业气体与化学气体 化工技术 化工产品 工业气体